MS-系列：耐腐蚀质量流量计

定制范围从 0.5 SCCM 到 5,000 SLPM

• 完整规格表

MS系列标准规格

• 量程范围：0.5 SCCM 至 5,000 SLPM
• 测量范围： 1% – 100% F.S.
• 精度：读数的 0.8% 和 0.2% F.S.
• 可选高精度：读数的 0.4% 和 0.2% F.S.
• 重复性：±0.2% F.S.
• 响应时间：<10 毫秒
• 工作温度：–10°C 至 +60°C
• 工作压力：160 PSIA (11 barA)

功能

• • 同时测量体积流量、质量流量、气体压力和气体温度。
  • 现场可调工程单位列表和 STP/NTP 条件。
  • 从 98 多种预加载的 NIST 可溯源气体校准中选择工艺气体。
  • 自定义和存储多达 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物。
  • 使用集成触摸板从背光显示屏和控制配置中读取测量值。
  • 可选的集成双流量累加器和警报器