BASIS系列OEM气体质量流量控制器

性能

• 可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（参见零件编号标签）
• 可调比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
• 校准精度（NIST可溯源）：±（1.5%读数+0.5%满量程）
• 可重复性：0.5%满量程
• 标准控制器响应时间常数：100ms（可利用PID调节功能调节）
• 预热时间：70ms，达到完整精度

工作条件

• • 兼容气体：空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮（可通过串行连接选择气体）；订购时还可以选择氦气或氢气校准（仅使用一种气体）
  • 工作温度：0°C至+50°C
  • 最大内部压力（静态）：对于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；对于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
  • 耐受压力：175 psig（190 psia）
  • STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）