进口仪器仪表 —西安开普乐仪器仪表
标准精度0.8%RD+0.2%FS、高精度0.4%RD+0.2%FS
内置90-130条气体曲线可选
响应速度100MS
多种数字信号可选
| 性能/参数
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MC20系列质量流量控制器
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| 流量范围
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0.5SCCM-5000SLPM
可自行修改流量单位如kg/h、g/min等
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| 标定气体
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内置90条气体可选择
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| 精度(调零后)
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±(0.8%Rd+0.2%FS)
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| 高精度(调零后)
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±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM
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| 重复性
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±0.2%FS
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| 漂移(零点/满量程)
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0.02% F.S/oC/Atm
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| 工作范围
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0.5-
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| 响应时间
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100毫秒(调整)
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| 启动预热时间
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1秒内
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| 标准工况
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25oC & 14.696 psia，可自定义修改
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| 工作温度范围
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-10~-50℃(另有高温订制品)
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| 工作湿度范围
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0-RH(非冷凝)
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| 工作压力
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10Bar
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| 安装方向
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任意
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| 阀门状态
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常闭 |
