Medidor de vazão mássica de gás de alta pressão da série MQ

desempenho

• Faixas disponíveis：最大0-5000 slpm；最小0-10 sccm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）
• Relação ajustável：50:1
• Precisão de calibração (rastreável NIST)：±2% da escala completa
• Reprodutibilidade：0.2%Escala completa
• Constantes de tempo de resposta padrão do controlador：5-10ms
• Não é necessário tempo de aquecimento

condições de trabalho

• 兼容气体：98（MQ系列）或130（MQS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
• Temperatura de operação：-10°C至+60°C
• Pressão interna máxima (estática)：305 psig（320 psia）
• 最大差压（进口至出口）：100 psid
• Suportar pressão：400 psig（415 psia）
• STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）