Medidor de fluxo de massa da série M

desempenho

• Faixas disponíveis：最大0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）
• Relação ajustável：200:1（M系列）或者100:1（MS系列）
• 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
• 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
• Reprodutibilidade：0.2%Escala completa
• Constantes de tempo de resposta padrão do controlador：5-10ms
• Não é necessário tempo de aquecimento

condições de trabalho

• 兼容气体：98（MB系列）或130（MBS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
• Temperatura de operação：-10°C至+60°C
• Pressão interna máxima (estática)：145 psig（160 psia）
• 最大差压（进口至出口）：75 psid
• Suportar pressão：175 psig(190 psia)
• STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）