性能
- 可用量程：最大0-1000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）
- 可调比：200:1
- 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
- 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
- 可重复性：0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数：5-10ms
- 无需预热时间
工作条件
- 兼容气体：98种预置可选气体校准；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
- 工作温度：-10°C至+60°C
- 最大内部压力（静态）：45 psig（60 psia）
- 最大差压（进口至出口）：15 psid
- 耐受压力：175 psig（190 psia）
- STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
