MC系列气体质量流量控制器

性能

• 可用量程：最大0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）
• 可调比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
• 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
• 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
• 可重复性：0.2%满量程
• 标准质量流量控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
• 无需预热时间

工作条件

• • 兼容气体：98（MC系列）或130（MCS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度：-10°C至+60°C
  • 最大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
  • 耐受压力：175 psig（190 psia）