Controlador de fluxo de massa de gás de baixa queda de pressão da série MCW

desempenho

• Faixas disponíveis：0-1000 slpm；0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）
• Relação ajustável：200:1（MC系列）
• 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
• 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
• Reprodutibilidade：0.2%Escala completa
• Constantes de tempo de resposta padrão do controlador：50-100ms (se o ajuste PID estiver disponível.)，Encurtado para 25ms)
• Não é necessário tempo de aquecimento

condições de trabalho

• • 兼容气体：98种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • Temperatura de operação：-10°C至+60°C
  • 内部压力（静态）：45 psig（60 psia）
  • Suportar pressão：175 psig(190 psia)
  • STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）