Controladores de fluxo de massa OEM da série BASIS

desempenho

• Faixas disponíveis：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（参见零件编号标签）
• Relação ajustável：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
• Precisão de calibração (rastreável NIST)：±（1.5%读数+0.5%满量程）
• Reprodutibilidade：0.5%Escala completa
• Constantes de tempo de resposta padrão do controlador：100ms（可利用PID调节功能调节）
• 预热时间：70ms，达到完整精度

condições de trabalho

• • 兼容气体：空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮（可通过串行连接选择气体）；订购时还可以选择氦气或氢气校准（仅使用一种气体）
  • Temperatura de operação：0°C至+50°C
  • Pressão interna máxima (estática)：对于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；对于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
  • Suportar pressão：175 psig(190 psia)
  • STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）