定制范围从 0.5 SCCM 到 5,000 SLPM
- 完整规格表
MS系列标准规格
- 量程范围：0.5 SCCM 至 5,000 SLPM
- 测量范围： 1% – 100% F.S.
- 精度：读数的 0.8% 和 0.2% F.S.
- 可选高精度：读数的 0.4% 和 0.2% F.S.
- 重复性：±0.2% F.S.
- 响应时间：<10 毫秒
- 工作温度：–10°C 至 +60°C
- 工作压力：160 PSIA (11 barA)
功能
-
- 同时测量体积流量、质量流量、气体压力和气体温度。
- 现场可调工程单位列表和 STP/NTP 条件。
- 从 98 多种预加载的 NIST 可溯源气体校准中选择工艺气体。
- 自定义和存储多达 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物。
- 使用集成触摸板从背光显示屏和控制配置中读取测量值。
- 可选的集成双流量累加器和警报器
