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Eric ALICATM21 Anti-corrosion Mass Flow Controller-輸入計装-西安ケープ計装

Airricatマスフローコントローラ&質量流量計/Airicaatマスフローコントローラ/

Ericat ALICATM21耐腐食性マスフローコントローラ

デジタルマスフローコントローラのアリキャットファミリーは、高速比例制御バルブでカスタマイズできます

プロセスガスの質量流量、体積、流量、圧力を測定および制御

ガス温度の測定と表示も同時に行うことができます。

相談電話:19991827169

  • 製品概要

標準精度:0.8%RD + 0.2%FS、高精度0.4%RD + 0.2%FS

内蔵の90-130ガスカーブはオプションです

応答速度:100MS

幅広いデジタル信号が利用可能

パフォーマンス/パラメータ

 

MC20シリーズマスフローコントローラー

 

流量範囲

 

0.5SCCM-5000SLPM

kg/hなど、流量単位を自分で変更できます、g/minなど

 

校正済みガス

 

内蔵90ガスはオプションです

 

精度(ゼロ化後)

 

±(0.8%Rd+0.2%FS)

 

高精度(ゼロ化後)

 

±(0.4%Rd+0.2%FS),5SCCM-500SLPM限定

 

再現

 

±0.2%FS

 

漂流(ゼロ/フルスケール)

 

0.02% F.S/OC/ATM

 

業務範囲

 

0.5-

 

応答時間

 

100ミリセカント(調整する)

 

ウォームアップ時間の開始

 

1お代わり

 

標準動作条件

 

25oCの & 14.696 プシア,カスタマイズできます

 

動作温度範囲

 

-10~-50°C(高温カスタマイズ製品もあります)

 

動作湿度範囲

 

0-右の(結露しないこと)

 

仕事のプレッシャー

 

10バール

 

取り付け方向

 

任意に

 

バルブの状態

 

ノーマルクローズ

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