MC系列气体质量流量控制器

Prestazione

• Gamme disponibili：最大0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）
• Rapporto regolabile：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
• Precisione standard (tracciabile NIST)：± (0,8% v.m. + 0,2% fondo scala)
• Alta precisione (opzionale).，Tracciabile NIST)：± (0,4% r.m. + 0,2% fondo scala)
• Riproducibilità：0.2%Scala reale
• 标准质量流量控制器响应时间常数：50-100ms (se è disponibile la regolazione PID.)，Accorciato a 25 ms)
• Non è richiesto alcun tempo di riscaldamento

condizioni di lavoro

• • Compatibile con i gas：98（MC系列）或130（MCS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • Temperatura：-10Da °C a +60°C
  • 最大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
  • Resistere alla pressione：175 psig(190 psia)