Massendurchflussmesser der M-Serie

Leistung

• Verfügbare Bereiche：最大0-5000 slpm；0-0,5 sccm/0-500 sμlm min. (für Standbereiche)，请参见零件编号标签）
• Einstellbares Verhältnis：200:1（M系列）或者100:1（MS系列）
• Standardgenauigkeit (NIST-rückführbar)：± (0,8 % m.V. + 0,2 % Skalenendwert)
• Hohe Genauigkeit (optional.)，NIST-rückführbar)：± (0,4 % m.r. + 0,2 % Skalenendwert)
• Reproduzierbarkeit：0.2%Voller Maßstab
• Standard-Reaktionszeitkonstanten des Controllers：5-10Frau
• Es ist keine Aufwärmzeit erforderlich

Arbeitsbedingungen

• Kompatibel mit Gasen：98（MB系列）或130（MBS系列）种预置可选气体；ANDERE GASGEMISCHE, DIE MIT DEM COMPOSER GAS EDITOR ANGEPASST WERDEN KÖNNEN
• Betriebstemperatur：-10°C bis +60°C
• Maximaler Innendruck (statisch)：145 psig（160 psia）
• Maximaler Differenzdruck (Einlass bis Auslass)：75 psid (PSID)
• Hält Druck stand：175 psig(190 psia)
• STP/NTP：Vom Benutzer wählbar (Standard ist 25°C.) & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)