MC系列气体质量流量控制器

Leistung

• Verfügbare Bereiche：最大0-5000 slpm；0-0,5 sccm/0-500 sμlm min. (für Standbereiche)，Siehe Teilenummernetikett)
• Einstellbares Verhältnis：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
• Standardgenauigkeit (NIST-rückführbar)：± (0,8 % m.V. + 0,2 % Skalenendwert)
• Hohe Genauigkeit (optional.)，NIST-rückführbar)：± (0,4 % m.r. + 0,2 % Skalenendwert)
• Reproduzierbarkeit：0.2%Voller Maßstab
• 标准质量流量控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
• Es ist keine Aufwärmzeit erforderlich

Arbeitsbedingungen

• • Kompatibel mit Gasen：98（MC系列）或130（MCS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • Betriebstemperatur：-10°C bis +60°C
  • Maximaler Innendruck (statisch)：145 psig（160 psia）
  • Hält Druck stand：175 psig(190 psia)